The executable was signed with invalid entitlements.

Distribution用にいろいろ作業していたら、なぜかテスト用デバイスに上記のエラーで転送できなくなった。 Provisioning ProfileがDebug,Release共通になっていたので、Releaseの方はDistribute用、Debugの方をXcodeによって自動生成されたものに置き換えたら直った。 ふう。